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Thin Film Encapsulation with Organic-Inorganic Nano Laminate using Molecular Layer Deposition and Atomic Layer Deposition
- 제목
- Thin Film Encapsulation with Organic-Inorganic Nano Laminate using Molecular Layer Deposition and Atomic Layer Deposition
- 저자
- 성명모
- 발행일
- 2016-02-18
- 학회명
- 제 50회 한국진공학회
- 개최지
- 웰리힐리파크