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다양한 가스를 이용한 유도 결합 플라즈마에서 E_H mode 전이 현상

제목
다양한 가스를 이용한 유도 결합 플라즈마에서 E_H mode 전이 현상
저자
정진욱
발행일
2010-02-17
학회명
동계정기학술대회
개최지
한국, 강원도 횡성

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