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평판형 헬리컬 공진 플라즈마에서 플라즈마 전위 형성 매커니즘

제목
평판형 헬리컬 공진 플라즈마에서 플라즈마 전위 형성 매커니즘
저자
정진욱
발행일
2025-08-21
학회명
제69회 한국진공학회
개최지
Phoenix Island, Jeju, Korea

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