테라헤르츠파 비파괴검사법을 이용한 반도체 패키징 내부 공동 검출에 관한 연구

The detection of the voids in semiconductor packages using non-destructive evaluation of THz-TDS
제목
테라헤르츠파 비파괴검사법을 이용한 반도체 패키징 내부 공동 검출에 관한 연구
제목 (타언어)
The detection of the voids in semiconductor packages using non-destructive evaluation of THz-TDS
저자
박성현장진욱김학성
발행일
2015-04
유형
Proceeding
저널명
대한기계학회 2015년도 재료 및 파괴부문 춘계학술대회 논문집
페이지
265 ~ 266