상세 보기
Uniformity Control by using helium gas in the large area ferrite side type inductively coupled plasma
- 제목
- Uniformity Control by using helium gas in the large area ferrite side type inductively coupled plasma
- 저자
- 정진욱
- 발행일
- 2012-02-10
- 학회명
- 한국진공학회 동계 정기학술대회 프로그램집
- 개최지
- 보광휘닉스파크