The Effects of Post Annealing on the Schottky Behaviors of Atomic Layer Deposited Ruthenium on the Si Substrate

제목
The Effects of Post Annealing on the Schottky Behaviors of Atomic Layer Deposited Ruthenium on the Si Substrate
저자
최창환
발행일
2014-02-26
학회명
반도체학술대회
개최지
한양대학교