ScholarWorks@한양대학교

상세 보기

Y 계열 챔버 내벽 재질에 따른 CF₄ 플라즈마 특성 연구

제목
Y 계열 챔버 내벽 재질에 따른 CF₄ 플라즈마 특성 연구
저자
정진욱
발행일
2026-02-10
학회명
제 70회 한국 진공학회
개최지
Sono Calm Vivaldi Park, Hongcheon, Gangwon-do, Republic of Korea

ScholarWorks@한양대학교

(04763) 서울특별시 성동구 왕십리로 222 Tel. +82-2-2220-1370 +82-2-2220-1366

COPYRIGHT © 한양대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.