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낮은 일함수 적용을 위한 원자층 증착법으로 형성된 TaAl 금속 전극

제목
낮은 일함수 적용을 위한 원자층 증착법으로 형성된 TaAl 금속 전극
저자
최창환
발행일
2020-11-19
학회명
한국재료학회 춘추계 톻합학술대회
개최지
제주 휘닉스 섭지코지

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