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유도 결합 플라즈마에서 밸런스 파워에 의한 전자밀도의 증가효과

제목
유도 결합 플라즈마에서 밸런스 파워에 의한 전자밀도의 증가효과
저자
정진욱
발행일
2011-02-09
학회명
제40회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
한국, 강원도 평창

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