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THz-TDS 시스템을 이용한 P-N type 실리콘 웨이퍼 도핑 농도와 물리적 특성 측정

제목
THz-TDS 시스템을 이용한 P-N type 실리콘 웨이퍼 도핑 농도와 물리적 특성 측정
저자
김학성
발행일
2016-11-03
학회명
2016 추계학술대회 및 제36차 정기총회

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