전자온도 및 이온밀도의 고해상도 공간분포 측정에 관한 연구

제목
전자온도 및 이온밀도의 고해상도 공간분포 측정에 관한 연구
저자
정진욱
발행일
2024-02-15
학회명
제66회 한국진공학회
개최지
휘닉스파크 강원도 평창