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유도 결합 플라즈마 E-mode에서 비활성기체 Ar,He,Ne 혼합 플라즈마의 밀도 역전과 히스테리시스 감소 현상 연구

제목
유도 결합 플라즈마 E-mode에서 비활성기체 Ar,He,Ne 혼합 플라즈마의 밀도 역전과 히스테리시스 감소 현상 연구
저자
정진욱
발행일
2021-11-18
학회명
2021년 반도체디스플레이 추계학술대회
개최지
Virtual

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