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Effective Work Function Modulation of ALD TaN/HfO2 MOS Devices with Different Capping Materials
- 제목
- Effective Work Function Modulation of ALD TaN/HfO2 MOS Devices with Different Capping Materials
- 저자
- 최창환
- 발행일
- 2020-02-13
- 학회명
- 27회 한국반도체학술대회 (KCS)
- 개최지
- 정선 하이원 그랜드 호텔