Molecular Layer Deposition of Organic-Inorganic Hybrid Films Using Diethylzinc and Trihydroxybenzene

제목
Molecular Layer Deposition of Organic-Inorganic Hybrid Films Using Diethylzinc and Trihydroxybenzene
저자
성명모
발행일
2011-05-19
학회명
제22회 IC ME&D
개최지
포스코 인터내셔널 센터