ScholarWorks@한양대학교

상세 보기

초저온 전자온도 플라즈마 영역 부피 제어에 따른 전자밀도 변화 연구

제목
초저온 전자온도 플라즈마 영역 부피 제어에 따른 전자밀도 변화 연구
저자
정진욱
발행일
2026-05-29
학회명
2026년 한국반도체디스플레이기술학회 국내학술대회
개최지
Gachon University Global Campus, Seongnam, Republic of Korea

ScholarWorks@한양대학교

(04763) 서울특별시 성동구 왕십리로 222 Tel. +82-2-2220-1370 +82-2-2220-1366

COPYRIGHT © 한양대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.