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Effects of Interface Plasma Passivation of Pt/Al2O3/6H-SiC MOS Devices

제목
Effects of Interface Plasma Passivation of Pt/Al2O3/6H-SiC MOS Devices
저자
최창환
발행일
2012-02-16
학회명
제19회 한국반도체학술대회
개최지
고려대학교 (서울), 한국

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