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Pi-type 임피던스 매처의 노드 전류 기반 전력 분석을 이용한 유도 결합 플라즈마 전력 전달 효율 측정 및 검증
- 제목
- Pi-type 임피던스 매처의 노드 전류 기반 전력 분석을 이용한 유도 결합 플라즈마 전력 전달 효율 측정 및 검증
- 저자
- 정진욱
- 발행일
- 2026-05-29
- 학회명
- 2026년 한국반도체디스플레이기술학회 국내학술대회
- 개최지
- Gachon University Global Campus, Seongnam, Republic of Korea