상세 보기
Mode transition of power dissipation in and plasma parameters in an asymmetric capacitive discharge
- 제목
- Mode transition of power dissipation in and plasma parameters in an asymmetric capacitive discharge
- 저자
- 정진욱
- 발행일
- 2012-07-04
- 학회명
- 4th ICMAP
- 개최지
- 제주도