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The effect of gradient DC magnetic field on ion density and electron temperature in the inductively coupled plasma
- 제목
- The effect of gradient DC magnetic field on ion density and electron temperature in the inductively coupled plasma
- 저자
- 정진욱
- 발행일
- 2023-08-22
- 학회명
- 제65회 한국진공학회
- 개최지
- 신화월드(제주)