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유도 결합 플라즈마에서전자 빔의 생성 및 제어에 관한 연구
정진욱
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제목
유도 결합 플라즈마에서전자 빔의 생성 및 제어에 관한 연구
저자
정진욱
발행일
2021-05-20
학회명
2021년 춘계학술대회
개최지
제주도 호텔난타
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