상세 보기
New method to measure the electron temperature in Ar/He mixture capacitive discharge
- 제목
- New method to measure the electron temperature in Ar/He mixture capacitive discharge
- 저자
- 정진욱
- 발행일
- 2008-10-13
- 학회명
- 61th Gaseous Electronics Conference
- 개최지
- 달라스, 미국