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The Formation of Dipole to Modulate Flatband Voltage (VFB) using ALD Al2O3 on the HfO2-based Si and Ge MOS Devices
- 제목
- The Formation of Dipole to Modulate Flatband Voltage (VFB) using ALD Al2O3 on the HfO2-based Si and Ge MOS Devices
- 저자
- 최창환
- 발행일
- 2022-01-25
- 학회명
- 한국반도체학술대회
- 개최지
- 강원도 하이원 그랜드 호텔