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Impacts of Film Thickness and Rapid Thermal Annealing on the Ferroelectric Properties of Nano-Laminated ALD HfxZrO1-xO2 Thin Film
- 제목
- Impacts of Film Thickness and Rapid Thermal Annealing on the Ferroelectric Properties of Nano-Laminated ALD HfxZrO1-xO2 Thin Film
- 저자
- 최창환
- 발행일
- 2020-02-14
- 학회명
- 27회 한국반도체학술대회 (KCS)
- 개최지
- 정선 하이원 그랜드 호텔