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임베디드 2차원 평면 탐침을 이용한 플라즈마 균일도 진단

제목
임베디드 2차원 평면 탐침을 이용한 플라즈마 균일도 진단
저자
정진욱
발행일
2010-02-17
학회명
동계정기 학술대회
개최지
한국, 강원도 횡성

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