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Heterogeneous 3D Vertical Inverter of MoS2 nFET on Si pMOSFET Using Sequential Fabrication Process
- 제목
- Heterogeneous 3D Vertical Inverter of MoS2 nFET on Si pMOSFET Using Sequential Fabrication Process
- 저자
- 최창환
- 발행일
- 2024-01-26
- 학회명
- 31회 한국반도체학술대회 (KCS)
- 개최지
- 경주화백컨벤션센터