상세 보기
Copper Atomic Layer Deposition by Using Substitution Reaction Between Cu(OCH(Me)CH2NMe2)2 and Et2Zn
- 제목
- Copper Atomic Layer Deposition by Using Substitution Reaction Between Cu(OCH(Me)CH2NMe2)2 and Et2Zn
- 저자
- 성명모
- 발행일
- 2008-04-18
- 학회명
- 제 101회 대한화학회
- 개최지
- 일산 킨텍스