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IGO 채널/HZO 강유전체 박막이 적용된 수직형 FeFET

제목
IGO 채널/HZO 강유전체 박막이 적용된 수직형 FeFET
저자
최창환
발행일
2023-04-28
학회명
대한금속재료학회 춘계학술대회
개최지
제주국제컨벤션센터(ICC JEJU)

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