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Fabrication of Noble Organic-Inorganic Thin Film for Passivation Layer by Molecular Layer Deposition
- 제목
- Fabrication of Noble Organic-Inorganic Thin Film for Passivation Layer by Molecular Layer Deposition
- 저자
- 성명모
- 발행일
- 2014-08-18
- 학회명
- 제47회 한국진공학회
- 개최지
- 델피노리조트