아르곤/헬륨 혼합 가스에서 부유 고조화 분석법을 사용한 개별 이온 밀도 측정 방법

제목
아르곤/헬륨 혼합 가스에서 부유 고조화 분석법을 사용한 개별 이온 밀도 측정 방법
저자
정진욱
발행일
2021-08-18
학회명
한국진공학회 제61회 하계정기학술대회
개최지
제주도 소노캄