축전기의 과도 현상을 이용한 부유형 단일탐침 플라즈마 진단법 연구

제목
축전기의 과도 현상을 이용한 부유형 단일탐침 플라즈마 진단법 연구
저자
정진욱
발행일
2011-02-09
학회명
제40회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
한국, 강원도 평창