Diffusionless Annealing for Flatband Voltage Tuning of PMOS devices with High-k/Metal Gate Stack

제목
Diffusionless Annealing for Flatband Voltage Tuning of PMOS devices with High-k/Metal Gate Stack
저자
최창환
발행일
2011-02-18
학회명
18회 한국반도체학술대회
개최지
제주 해비치호텔