유도 결합 플라즈마에서 그리드에 생성되는 쉬스와 전자 빔 생선과의 상관 관계

제목
유도 결합 플라즈마에서 그리드에 생성되는 쉬스와 전자 빔 생선과의 상관 관계
저자
정진욱
발행일
2021-11-18
학회명
2021년 반도체디스플레이 추계학술대회
개최지
Virtual