The Improved Ferroelectric Characteristics of Ferroelectric Memory Devices using ALD SiO2 and Al2O3 Interlayers

제목
The Improved Ferroelectric Characteristics of Ferroelectric Memory Devices using ALD SiO2 and Al2O3 Interlayers
저자
최창환
발행일
2022-01-26
학회명
한국반도체학술대회
개최지
강원도 하이원 그랜드 호텔