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극저온 전자 온도 플라즈마에서 RF 바이어스에 따른 이온 에너지 분포 제어 연구

제목
극저온 전자 온도 플라즈마에서 RF 바이어스에 따른 이온 에너지 분포 제어 연구
저자
정진욱
발행일
2023-08-22
학회명
제65회 한국진공학회
개최지
신화월드(제주)

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