유도 결합 플라즈마에서 시스템의 소비 전력 측정 방법에 대한 연구

제목
유도 결합 플라즈마에서 시스템의 소비 전력 측정 방법에 대한 연구
저자
정진욱
발행일
2012-02-10
학회명
한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
보광휘닉스파크