테라헤르츠 시간 영역 분광법을 이용한 실리콘웨이퍼 증착물의 두께 예측에 관한 연구

제목
테라헤르츠 시간 영역 분광법을 이용한 실리콘웨이퍼 증착물의 두께 예측에 관한 연구
저자
김학성
발행일
2021-06-25
학회명
대한기계학회 재료 및 파괴부문 2021년 춘계학술대회