Organic-Inorganic Hybrid Thin Film Fabrication as Encapsulation using TMA and Adipoyl Chloride

제목
Organic-Inorganic Hybrid Thin Film Fabrication as Encapsulation using TMA and Adipoyl Chloride
저자
성명모
발행일
2012-08-21
학회명
제43회 한국진공학회
개최지
라마다 프라자 제주호텔