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Real time feedback control of plasma density by using a floating probe in inductively coupled plasmas
- 제목
- Real time feedback control of plasma density by using a floating probe in inductively coupled plasmas
- 저자
- 정진욱
- 발행일
- 2008-10-13
- 학회명
- 61th Gaseous Electronics Conference
- 개최지
- 달라스, 미국