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그리드를 적용한 축전 결합 플라즈마에서 전자 에너지 분포 변화 연구
정진욱
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제목
그리드를 적용한 축전 결합 플라즈마에서 전자 에너지 분포 변화 연구
저자
정진욱
발행일
2023-08-22
학회명
제65회 한국진공학회
개최지
신화월드(제주)
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