그리드를 적용한 축전 결합 플라즈마에서 전자 에너지 분포 변화 연구

제목
그리드를 적용한 축전 결합 플라즈마에서 전자 에너지 분포 변화 연구
저자
정진욱
발행일
2023-08-22
학회명
제65회 한국진공학회
개최지
신화월드(제주)