플라즈마로부터의 이온포격에 의한 표면물질의 유전체 특성 변화 관찰

제목
플라즈마로부터의 이온포격에 의한 표면물질의 유전체 특성 변화 관찰
저자
정진욱
발행일
2011-02-09
학회명
제40회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
한국, 강원도 평창