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Alternative Metal Gate by Incorporating AlN into ALD TaN using TBTDET and TaCl5 Precursors
- 제목
- Alternative Metal Gate by Incorporating AlN into ALD TaN using TBTDET and TaCl5 Precursors
- 저자
- 최창환
- 발행일
- 2022-01-19
- 학회명
- Nano Convergence Conference (NCC)
- 개최지
- 강원도 하이원 그랜드 호텔