플라즈마에서 삼중 주파수를 이용한 밀리미터 두께의 유전체 두께 실시간 측정법 개발

제목
플라즈마에서 삼중 주파수를 이용한 밀리미터 두께의 유전체 두께 실시간 측정법 개발
저자
정진욱
발행일
2021-02-04
학회명
제 60회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
온라인