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유도결합플라즈마에서 플라즈마 변수와 전자 에너지 분포에 대한 RF bias의 영향

제목
유도결합플라즈마에서 플라즈마 변수와 전자 에너지 분포에 대한 RF bias의 영향
저자
정진욱
발행일
2012-02-10
학회명
한국진공학회 동계 정기 학술대회
개최지
보광휘닉스파크

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