게이트 라스트 공정으로 제작된 완전 공핍형 실리콘-온-절연체 MOSFET 소자의 문턱 전압 제어

제목
게이트 라스트 공정으로 제작된 완전 공핍형 실리콘-온-절연체 MOSFET 소자의 문턱 전압 제어
저자
최창환
발행일
2018-04-20
학회명
한국반도체디스플레이기술학회 춘계학술대회
개최지
한국기계연구원 (대전) 본관 1층 대강당