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Effect of multi-step ionization on the tail electron temperature in an argon inductively coupled plasma
- 제목
- Effect of multi-step ionization on the tail electron temperature in an argon inductively coupled plasma
- 저자
- 정진욱
- 발행일
- 2018-08-10
- 학회명
- 제55회 하계정기학술대회
- 개최지
- 대명 비발디파크