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RF 플라즈마에서 왜곡된 랑뮤어 탐침 I-V곡선의 수치적 왜곡 제거 방법 연구

제목
RF 플라즈마에서 왜곡된 랑뮤어 탐침 I-V곡선의 수치적 왜곡 제거 방법 연구
저자
정진욱
발행일
2020-02-09
학회명
제58회 동계정기학술대회
개최지
하이원리조트

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