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PEALD SiO2 as Diffusion Limit Layer in Cu/SiO2/ZrO2/Pt Synaptic Device

제목
PEALD SiO2 as Diffusion Limit Layer in Cu/SiO2/ZrO2/Pt Synaptic Device
저자
최창환
발행일
2020-02-13
학회명
27회 한국반도체학술대회 (KCS)
개최지
정선 하이원 그랜드 호텔

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