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표면 분석법을 이용한 플라즈마에서의 보론박막 두께 측정

제목
표면 분석법을 이용한 플라즈마에서의 보론박막 두께 측정
저자
정진욱
발행일
2011-02-09
학회명
제40회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
한국, 강원도 평창

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