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Deposition and chrarcterization of inorganic thin films by using UV-enhanced Atomic Layer Deposition
- 제목
- Deposition and chrarcterization of inorganic thin films by using UV-enhanced Atomic Layer Deposition
- 저자
- 성명모
- 발행일
- 2015-02-09
- 학회명
- 제 48회 한국진공학회 동계정기학술대회
- 개최지
- 웰리힐리파크