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비대칭 턴 수 병렬 안테나 구조에서 축전기 위치 변경을 통한 이온 밀도 균일도 제어

제목
비대칭 턴 수 병렬 안테나 구조에서 축전기 위치 변경을 통한 이온 밀도 균일도 제어
저자
정진욱
발행일
2026-05-29
학회명
2026년 한국반도체디스플레이기술학회 국내학술대회
개최지
Gachon University Global Campus, Seongnam, Republic of Korea

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